雅科贝思的高刚性XYZT气浮运动平台，摆动式双向重复检测结果显示，X轴双向重复精度43 nm，Y轴双向重复精度59 nm。气浮平台相关核心部件均自研，为客户定制整套解决方案。

具体产品请查看https://mp.weixin.qq.com/s/FA_YOLfk69e1ccrCWH69vw

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产品特性

·用于分选和力控的解决方案;

·采用直驱技术，无背隙;

·有效力控范围在0-100N;

·气浮力控模组阻力小，响应时间短，响应快;

·伺服模组使用带刹车的伺服电机+光栅双反馈，集合了

直线电机和伺服电机各自的优点;

·自行研发的Agito的驱动器，可以实现在没有外界力传感器做反馈的前提下，实现开环的力控。

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雅科贝思携多款针对半导体行业定制化研发的明星产品及解决方案重磅参展，全面覆盖半导体晶圆处理、先进封装、芯片分选、真空环境、精密检测等核心场景，完美适配AI算力驱动下的高端半导体制造需求，成为展会现场备受关注的核心展商之一。

上海兰宝传感科技股份有限公司专业从事工业离散型传感器行业，提供光电/电感/电容/光纤/超声波/激光测量/3D视觉/工业安全等产品及解决方案，产品广泛应用在半导体、3C电子、新能源、汽车制造、智慧物流、工业机器人、电梯、包装、纺织机械等行业。

上海兰宝传感供应电容式接近传感器,产品型号丰富/塑料金属外壳/液位料位检测稳定，适用于多种工业、畜牧业等场景。

上海兰宝传感供应电感式接近传感器,产品型号丰富/测距远/检测稳定，适用于多种工业自动化等场景。

上海兰宝传感供应高精度激光测距位移传感器,产品精度高/测距远/检测稳定，适用于多种工业自动化、物流仓储等场景。

上海兰宝传感供应对射微型光电传感器,产品体积小/精度高/测距多样/检测稳定，适用于多种工业自动化场景。

上海兰宝传感供应对射型槽型光电传感器,产品U型外观/精度高/检测稳定，适用于多种工业自动化场景。

上海兰宝传感供应对射/反射/漫反射/背景抑制/偏振反射型光电传感器,产品精度高/测距多样/检测稳定，适用于多种工业自动化场景。