雅科贝思的高刚性XYZT气浮运动平台，摆动式双向重复检测结果显示，X轴双向重复精度43 nm，Y轴双向重复精度59 nm。气浮平台相关核心部件均自研，为客户定制整套解决方案。

具体产品请查看https://mp.weixin.qq.com/s/FA_YOLfk69e1ccrCWH69vw

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产品特性

·用于分选和力控的解决方案;

·采用直驱技术，无背隙;

·有效力控范围在0-100N;

·气浮力控模组阻力小，响应时间短，响应快;

·伺服模组使用带刹车的伺服电机+光栅双反馈，集合了

直线电机和伺服电机各自的优点;

·自行研发的Agito的驱动器，可以实现在没有外界力传感器做反馈的前提下，实现开环的力控。

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