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雅科贝思的高刚性XYZT气浮运动平台，摆动式双向重复检测结果显示，X轴双向重复精度43 nm，Y轴双向重复精度59 nm。气浮平台相关核心部件均自研，为客户定制整套解决方案。

具体产品请查看https://mp.weixin.qq.com/s/FA_YOLfk69e1ccrCWH69vw

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产品特性

·用于分选和力控的解决方案;

·采用直驱技术，无背隙;

·有效力控范围在0-100N;

·气浮力控模组阻力小，响应时间短，响应快;

·伺服模组使用带刹车的伺服电机+光栅双反馈，集合了

直线电机和伺服电机各自的优点;

·自行研发的Agito的驱动器，可以实现在没有外界力传感器做反馈的前提下，实现开环的力控。

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雅科贝思携多款针对半导体行业定制化研发的明星产品及解决方案重磅参展，全面覆盖半导体晶圆处理、先进封装、芯片分选、真空环境、精密检测等核心场景，完美适配AI算力驱动下的高端半导体制造需求，成为展会现场备受关注的核心展商之一。

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