雅科贝思的高刚性XYZT气浮运动平台，摆动式双向重复检测结果显示，X轴双向重复精度43 nm，Y轴双向重复精度59 nm。气浮平台相关核心部件均自研，为客户定制整套解决方案。

具体产品请查看https://mp.weixin.qq.com/s/FA_YOLfk69e1ccrCWH69vw

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产品特性

·用于分选和力控的解决方案;

·采用直驱技术，无背隙;

·有效力控范围在0-100N;

·气浮力控模组阻力小，响应时间短，响应快;

·伺服模组使用带刹车的伺服电机+光栅双反馈，集合了

直线电机和伺服电机各自的优点;

·自行研发的Agito的驱动器，可以实现在没有外界力传感器做反馈的前提下，实现开环的力控。

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雅科贝思携多款针对半导体行业定制化研发的明星产品及解决方案重磅参展，全面覆盖半导体晶圆处理、先进封装、芯片分选、真空环境、精密检测等核心场景，完美适配AI算力驱动下的高端半导体制造需求，成为展会现场备受关注的核心展商之一。

飞马座运动平台，实现半导体检测的高精、高速、高稳定！ 毫秒级整定、亚微米级精度、纳米级静态抖动！

上海慕尼黑光博会必看! 雅科贝思振镜与平台联动激光加工系统大揭秘!

采用3+2经典设计，极大的提高了整体的刚度。配置减振系统，不仅能提高静态性能，还极大的提高了运动平台的动态性能，从而提高客户产品的质量和产率。

X、Y轴行程分别可达600、550毫米，整体采用全气浮高刚性结构，气浮式导轨几乎可以忽略摩擦力的影响，实现近于零摩擦的润滑，故能实现超精密定位。

雅科贝思始终专注直驱技术，致力于为客户提供最优的精密制造解决方案。我们深知，技术的进步源于不断的探索和追求卓越的精神。凭借领先的研发能力和市场敏锐度，雅科贝思不断推动行业的发展，创造出令人瞩目的成就。

雅科贝思的愿景是赋能精密世界，意在让每一个客户都能感受到我们的专业与价值。我们坚信，通过团队的共同努力和对品质的严格把控，未来将会有更多的可能性与机遇等待我们去探索。